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真空熱處理爐不僅用于普通工件的淬火、回火、退火和正火，而且可進行化學熱處理如真空滲碳(包括真空碳氮共滲)、真空離子滲碳和輝光離子滲氮等，同時可完成金屬的燒結(jié)、釬焊和真空鍍膜等，真空滲碳具有滲層均勻和重現(xiàn)性好、表面清潔光亮和消耗的氣體少、節(jié)約氣源等優(yōu)點。
    按照真空熱處理爐冷卻時使用的冷卻介質(zhì)，真空爐分為油冷真空爐、氣淬一油冷真空爐、油冷真空爐以及氣冷真空爐幾種；按結(jié)構(gòu)形式分為單室、雙室、三室和連續(xù)作業(yè)爐等。